9.38亿元!ASML第一台全新EUV极紫外光刻机交付

作为全球第一光刻机供应商,荷兰asml(阿斯麦)今天公布了2021年第二季度财报。

当季,asml净销售额40亿欧元,毛利率50.9%,净收入10亿欧元,净预订额83亿欧元,其中euv极紫外光刻机就有49亿欧元,而总的积压订单金额已达175亿欧元。

asml在财报中还披露,第一台全新twinscan nxe:3600d euv光刻机系统已经交付给客户,相比之前的nxe:3400c生产力提高了15-20%,覆盖率(套刻精度)提高了约30%。

不过,asml未透露接收客户是哪一家。

asml还表示,正努力增加euv光刻机在存储行业的量产应用,计划协助三个dram内存芯片客户在未来的工艺节点中导入euv。

asml euv光刻机目前还是第一代产品,euv光源波长13.5nm左右,物镜na数值孔径0.33,并发展了一系列型号。

最早量产出厂的是nxe:3400b,产能有限,晶圆产能只有125pwh,目前的出货主力是nxe:3400c,产能提升到135wph,而最新的nxe:3600d产能进一步提升到160wph,价格据说也达到了1.45亿美元(约合人民币9.38亿元)。

第二代euv光刻机将会是nxe:5000系列,物镜na提升到0.55,进一步提高光刻精度,但原计划2023年问世,现在推迟到2025-2026年,而价格预计将突破3亿美元。

第三季度,asml预计净销售额52-54亿欧元,毛利率51-53%。

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